Компания «Научное и технологическое оборудование» (АО «НТО», Санкт-Петербург) — единственное в России предприятие, серийно выпускающее установки для молекулярно-лучевой эпитаксии (МЛЭ). Оборудование обеспечивает получение базового материала для изготовления современной электронной компонентной базы (ЭКБ) на основе полупроводниковых материалов A3B5, A2B6 и A3N. Впрочем, компетенции АО «НТО» этим не ограничиваются: здесь разрабатывают и производят широкий спектр специального технологического оборудования для электронной промышленности: установки МОС-гидридной эпитаксии (МОГФЭ), физического осаждения, термической обработки и отжига, плазмохимической обработки, а также ключевые узлы и комплектующие к ним.
История: от небольшой технологической команды до лидера отрасли
АО «НТО» берет свои истоки в Физико-техническом институте им. А. Ф. Иоффе (ФТИ им. А. Ф. Иоффе). В начале 1990‑х группа ведущих технологов института занялась коммерциализацией технологии производства мощных полупроводниковых лазеров на основе GaAs. Важным этапом технологического процесса являлось выращивание полупроводниковых гетероструктур методом молекулярно-лучевой эпитаксии, что позволило получить большой опыт в эксплуатации и модернизации технологического оборудования советского производства. В последующем развитие разработок потребовало создания новых подходов к проектированию технологического оборудования — модернизация старых советских установок уже не позволяла достигать целевых параметров технологического процесса. Переход от модернизации к самостоятельному проектированию технологического оборудования стал основным драйвером создания в 2001 году АО «НТО» и бренда SemiTEq.
Установки молекулярно-лучевой эпитаксии по настоящее время остаются ключевым продуктом компании. В то же время за прошедшие годы АО «НТО» значительно расширило продуктовую линейку, которая уже к началу 2010‑х годов обеспечивала выполнение ключевых операций технологических маршрутов создания микро- и оптоэлектроники преимущественно на основе материалов A3B5.
Сегодня АО «НТО» предлагает рынку современное технологическое оборудование, разработанное с учетом задач российских пользователей, с высокой степенью локализации производства, что обеспечивает технологическую независимость ключевых решений. Компания располагает собственной конструкторской и производственной базой, а также Прикладной лабораторией, которая обеспечивает технологическое тестирование и апробацию оборудования, разработку и постановку базовых технологических процессов. АО «НТО» успешно реализовало более 150 проектов по поставке специального технологического оборудования вместе с базовыми технологическими процессами.
Впечатляющие достижения
В апреле 2026 года АО «НТО» отметило свое 25‑летие. За четверть века было сделано то, чем коллектив может действительно гордиться. Сегодня АО «НТО» — один из лидеров отечественного рынка электронного машиностроения в области СВЧ-электроники и фотоники.
«За 25 лет мы прошли путь от небольшой команды разработчиков до одного из национальных лидеров в электронном машиностроении. Важно, что к юбилею компания подошла в своей лучшей форме — в статусе национального чемпиона — одной из самых динамично быстрорастущих технологических компаний в России», — отмечает генеральный директор АО «НТО» Алексей Николаевич Алексеев.
И результаты действительно впечатляют: сформирован уникальный продуктовый портфель, позволяющий выполнять ключевые операции по выпуску электронной компонентной базы в области СВЧ-, микроэлектроники и фотоники; за последние 3 года компания достигла рекордных показателей по выручке, разработала восемь новых моделей оборудования, в 3 раза увеличила производственные площади, в 2,5 раза нарастила численность персонала, стала лидером по росту производства специального технологического оборудования в России.
Генеральный директор АО «НТО» А. Н. Алексеев подчеркивает: «Сегодня АО «НТО» активно участвует в развитии отечественного электронного машиностроения, реализует проекты в рамках комплексной программы «Развитие электронного машиностроения до 2035 года» Минпромторга России и планирует опережающими темпами выводить на рынок новые разработки. Достижения последних лет — результат не только наших усилий, сотрудничества с партнерами, но и системной поддержки со стороны государства. Мы благодарны за доверие и уверены: впереди нас ждут значимые и масштабные проекты».
Перспективы развития
В прошлом году АО «НТО» успешно завершило разработку производственно-ориентированных эпитаксиальных установок. Это первые образцы отечественного оборудования для молекулярно-лучевой эпитаксии на подложках Ø150 мм, а также МОС-гидридной эпитаксии (МОГФЭ) с групповой загрузкой пластин Ø100–150 мм. Изделия предназначены для серийного выпуска гетероструктур на основе материалов А3В5 с целью изготовления СВЧ-транзисторов и микроволновых монолитных интегральных схем (МИС), фотоприемников, лазеров и других перспективных полупроводниковых приборов.
Конфигурация установок МЛЭ сформирована на основе новейшей отечественной унифицированной платформы с автоматическим сверхвысоковакуумным транспортом подложек между камерами. Объем источников материалов III группы увеличен до 150–300 куб. см и позволяет поддерживать долговременную стабильность скорости роста, что важно для получения достаточно «толстых» структур, предназначенных для вертикально-излучающих (VCSEL) или квантово-каскадных (QCL) лазеров.
Установка МОГФЭ оснащена реактором планетарного типа и предназначена для выращивания соединений AlGaN с групповой обработкой подложек 4×Ø150 мм или 6×Ø100 мм. Оригинальная конструкция реактора с групповой загрузкой обеспечивает высокую однородность параметров эпитаксиальных слоев по пластине в сочетании с производительностью.
МОС-гидридная эпитаксия — это разновидность эпитаксиального процесса, когда на нагретой подложке выращиваются слои полупроводниковых материалов из газовой фазы с использованием металлоорганических соединений и гидридов. При молекулярно-лучевой эпитаксии рост слоев происходит в условиях сверхвысокого вакуума с применением молекулярных пучков, попадающих на нагретую подложку.
У каждого из этих методов есть свои преимущества с точки зрения формирования гетероструктур с целью создания конкретного типа приборов. Так, для изготовления ориентированных на массовый рынок светодиодных гетероструктур с точки зрения себестоимости и масштабов производства предпочтительна МОС-гидридная эпитаксия, поскольку в эти установки одновременно можно загрузить большое количество подложек и тем самым обеспечить массовый выпуск продукции. Однако есть и определенные направления, в частности активная фотоника и мощные полупроводниковые лазеры, где требуется очень высокое качество гетероструктур и не нужен выпуск большого объема продукции. И здесь оптимальным выбором является молекулярно-лучевая эпитаксия. Метод эпитаксии выбирается на основе сочетания требований к качеству, технологическим особенностям гетероструктур и производительности процесса.
Сейчас АО «НТО» продолжает активно расширять линейку оборудования МЛЭ для выращивания соединений на основе антимонидов, КРТ (совместно с Институтом физики полупроводников им. А. В. Ржанова СО РАН), а также МОС-гидридной эпитаксии для получения гетероструктур на основе GaAs. Отдельное внимание компания уделяет тому, чтобы все разработанные модели имели высокую степень локализации производства по изготовлению ключевых узлов.
Следует обратить внимание на то, что сейчас спрос сместился с сугубо исследовательского применения гетероструктур к их производственному выпуску. Многие отечественные предприятия задумались о создании на своей площадке или в кооперации с партнерами эпитаксиального участка с целью обеспечить технологическую независимость и доступ к стабильному качеству гетероструктур. Поэтому АО «НТО» опережающими темпами приступило к тиражированию разработанного эпитаксиального оборудования для отечественных потребителей.
Предприятие также разрабатывает серию современного оборудования для проведения плазмохимических процессов и физического осаждения. Техническое задание на выпуск этой продукции согласовано с ведущими предприятиями — производителями электронной компонентной базы и предполагает совместные приемочные испытания. Проекты реализуются при поддержке Минпромторга России.
Наука, образование и производство в неразрывном единстве
В основе разработки и производства специального технологического оборудования лежат достижения фундаментальной и прикладной науки. На протяжении 25 лет АО «НТО» тесно сотрудничает с Физико-техническим институтом им. А. Ф. Иоффе РАН — ведущим в нашей стране научным центром в области исследования полупроводников и разработки технологии их производства, создания полупроводниковых приборов. Сегодня институт является ключевым партнером компании при выполнении опытно-конструкторских разработок современных видов продукции, а также подготовки кадров. Одновременно АО «НТО» активно участвует в реализации важных проектов по развитию инфраструктуры института, таких как создание НИОКР-центра.
Среди ключевых партнеров АО «НТО» следует также отметить Институт физики полупроводников им. А. В. Ржанова СО РАН, НТЦ Микроэлектроники РАН, НИЦ «Курчатовский институт». Кооперация с ведущими российскими научными центрами в области создания современной ЭКБ позволяет компании предлагать заказчикам современные и апробированные решения.
Электронное машиностроение — это особенная отрасль, которая требует от специалистов качественных знаний на стыке многих областей науки и техники. Именно поэтому отрасль сегодня испытывает острую потребность в высококвалифицированных кадрах. Основные источники молодых кадров для интенсивно развивающегося АО «НТО» — вузы Санкт-Петербурга, среди которых и Санкт-Петербургский национальный исследовательский Академический университет им. Ж. И. Алфёрова РАН — единственное в России федеральное государственное бюджетное учреждение высшего образования и науки.
АО «НТО» выступает индустриальным партнером передовой инженерной школы Национального исследовательского университета «Московский институт электронной техники» (МИЭТ). Проект направлен на восстановление и формирование современных образовательных программ в сфере электронного машиностроения. Участие в проекте позволяет молодым специалистам получать специальные прикладные знания и приходить на предприятия уже с практическим опытом, что крайне ценно для любого работодателя.
Сегодня АО «НТО» реализует значимые проекты по созданию импортозамещающих видов производственно-ориентированного технологического оборудования, направленные на обеспечение технологической независимости России. Есть надежда, что совместные усилия нашего государства, промышленности, научно-исследовательских институтов и вузов начнут приносить реальные плоды в области развития современной отечественной электроники.